Tubos de acero inoxidable de alta pureza para sistemas de suministro de gas semiconductor

Las instalaciones de fabricación de semiconductores requieren tubos de acero inoxidable de ultraalta pureza (UHP) para transportar gases de proceso con una contaminación mínima. Las consideraciones clave incluyen:

• Acabado de superficie electropulido: la rugosidad de la superficie interna debe controlarse a Ra ≤ 0,25 μm para evitar la adhesión de partículas y mantener la pureza del gas.

• Acero inoxidable 316L con bajo contenido de azufre: es necesario un contenido de azufre inferior al 0,005 % para mejorar la soldabilidad y evitar la contaminación.

• Soldadura orbital: la industria de semiconductores depende de la soldadura por arco de tungsteno con gas (GTAW) orbital automática con protección de argón con una pureza del 99,999 % para garantizar soldaduras sin defectos.